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对硅片的边缘进行抛光和清洗

利用德克旋转腐蚀台 (单硅片旋转腐蚀系统) 可确保包括边缘区域在内的最佳硅片质量。

系统特征:

  • 通过喷射腐蚀对硅片边缘进行高精度处理
  • 手动操作系统,质量和尺寸都是灵活多变
  • 特别地,几乎适用于各种尺寸的晶闸管
  • 也可使用在其它单片的应用上(图形/沟槽式腐蚀)

优势:

  • 水与清洗剂的消耗极低
  • 持续的低运营成本
  • 无缝融入生产工艺之中
  • 个性化订制的系统方案
  • 可提供统包式解决方案

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Wegscheid 1a
92334 Berching
Germany

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