Beim Ätzen von Silizium entstehen schädliche Gase, die Sie mit dem DECKER Mehrstufen-Absorber unschädlich machen. Dabei erreicht der Wäscher einen maximalen Wirkungsgrad innerhalb der strengen deutschen Norm TA Luft.

Entscheiden Sie sich für die Lösung, die sich passgenau in Ihren Produktionsprozess einfügt, wartungsarm ist und langfristig zuverlässig Betriebskosten spart.

Merkmale:

• maximaler Wirkungsgrad bei der HF-Absorption
• sicheres Absorbieren von NOx, HF und SiF4
• enthält eine spezielle Nitrit-Entgiftungsstation und reduziert damit den Nitrit-Anteil in Abwasserverbindungen
• vollautomatische, chemische Dosierung auf Basis der integrierten Messung von pH-Wert und Leitvermögen
• automatisches Anpassen des Gasstroms auch bei gleichzeitiger Absorption von mehreren DECKER Ätzanlagen

Vorteile:

• kompakt, wirtschaftlich und umweltfreundlich
• maximaler Wirkungsgrad
• anpassbar an unterschiedlichste Anforderungen
• extrem wartungsfreundlich
• einfaches Handling
• individuell zugeschnittene Anlagenkonzepte
• Turnkey-Lösung möglich